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樓主  發(fā)表于: 2025-01-15 15:24
晶圓AOI設(shè)備   檢測(cè)對(duì)象子母環(huán)晶圓或鐵環(huán)晶圓  有什么比較好的自動(dòng)對(duì)焦方式  目前用的慕藤光的圖像對(duì)焦
denghong
我是一只草泥馬.!
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1樓  發(fā)表于: 2025-01-16 09:40
總體來說同軸測(cè)量和對(duì)焦是最好的，但是一般成本貴，安裝受限制。 再者就是旁軸了，先掃描 ，再來對(duì)焦了。

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